派瑞林(Parylene)是一种优良的三防材料,其保护作用胜过有机硅树脂,环氧树脂和聚氨脂。近年来在传感器表面镀膜Parylene已经成为一种趋势,经Parylene镀膜防护的传感器包括汽车传感器、腐蚀环境用传感器、生物医学传感器、声学传感器、生物医学电极和植入传感器等等,Parylene对传感器的保护除了绝缘防护外,真空镀膜,更多是用做恶劣环境防护材料。
Parylene【派瑞林】镀膜能耐酸、碱和,对水汽和盐雾等恶劣环境有的阻隔防护能力。Parylene【派瑞林】镀膜的超薄特性,不会改变传感器的外观、尺寸、弹性、重量等。
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派瑞林真空镀膜可在各种形状的基材表面成型,对盐雾、霉菌、潮湿、腐蚀性等恶劣环境有很好的隔离防护功能,在精密机械、电子行业得到了广泛应用。派拉纶真空镀膜用于保护能解决其他材料不能解决的问题,纳米真空镀膜,其防水、防腐蚀性能优异,可延长寿命千年以上。
目前,国内外对于派拉纶技术在纸张、丝织品、木材等保护方面的研究相对较多,而对其在金属保护方面的研究还很欠缺。为此,LED真空镀膜,本工作考察在pH 值为5 的HCl溶液中不同厚度的派拉纶真空镀膜对Z30 灰口铸铁的保护作用。
Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
Parylene能在0.2um厚时就完全没有,5um时就能耐1000V以上直流击穿电压,又是摩擦系数很低的一种自润滑材料,化学惰性和阻隔性能也好,因此在微电子机械系统中,除了作电介质材料外,还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。
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