EO灭菌适用于不耐热、不耐湿的诊疗器械、器具和物品，在消毒实践中有着广泛的用途。EO用于灭菌主要通过消毒柜/灭菌站等设备设施实现，主要集中在两类企业：无菌器械生产企业灭菌环节和第三方消毒灭菌企业。从到EO消毒灭菌应用，作为行业不可或缺的组成部分，EO应用将随着未来我国行业的快速发展而持续增长，为人们的生产和生活提供化、国产化的坚实保障。
小型灭菌器，多用于门处理少量和用品，目前有纯或和二氧化碳混合气体。这类灭菌器自动化程度比较高，可自动抽真空，自动加药，自动调节温度和相对湿度，可自动控制灭菌时间。对中型和小型灭菌器的要求是：有较好的耐压性能和密闭性能，应能承受1.25倍工作压力的水压试验，无变性和渗漏，常州环氧乙烷灭菌，可以抽真空度至53.3kPa以上；加药量准确，保温性能好，环氧乙烷灭菌服务，可以调节消毒器内的温度和相对湿度；消毒后用外环境空气冲洗时，输入的空气经过滤器，可滤除≥0.3µm粒子的99.6%以上；排出的残余经无害化处理，灭菌物品中残留应低于15.2mg/m；灭菌环境中的浓度应低于2mg/m。
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